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基礎信息Product information
產(chǎn)品名稱(chēng):

2020SR非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測試儀

產(chǎn)品型號:

廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商

所在地:深圳市

更新時(shí)間:2022-10-11

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

2020SR非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測試儀是一種非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測量系統。該設備包含一個(gè)渦流傳感器組,可將微弱電流感應到導電薄膜和材料中。樣本中的感應電流會(huì )產(chǎn)生與測量對象的薄層電阻相關(guān)的電磁場(chǎng)。

產(chǎn)品特性Product characteristics
品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應用領(lǐng)域能源,電子,綜合

2020SR非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測試儀


EddyCus® TF lab 2020SR 是一種非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測量系統。該設備包含一個(gè)渦流傳感器組,可將微弱電流感應到導電薄膜和材料中。樣本中的感應電流會(huì )產(chǎn)生與測量對象的薄層電阻相關(guān)的電磁場(chǎng)。該技術(shù)獨立于表面特征或形態(tài)。此外,它不需要任何類(lèi)型的充分樣品接觸或準備,例如從 2 點(diǎn)或 4 點(diǎn)探針測試(2PP、4PP)或霍爾效應或范德堡測量中得知。它既不需要設置測試結構,也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響。此外,測量不會(huì )對測試的薄膜產(chǎn)生物理影響。由于存在機械磨損,渦流儀器具有較長(cháng)的使用壽命。它獨立于接觸質(zhì)量和高速,可實(shí)現高重復性和準確性,有利于研發(fā)和測試實(shí)驗室中各種薄膜的系統質(zhì)量保證。 EddyCus 工具可以由具有各種數據記錄和導出功能的 SURAGUS 軟件驅動(dòng),也可以由 SURAGUS 軟件開(kāi)發(fā)套件驅動(dòng)的客戶(hù)軟件驅動(dòng)。


軟件和設備控制

 

1、非常人性化的軟件

2、直觀(guān)的觸摸顯示屏導航

3、實(shí)時(shí)測量薄層電阻和層厚

4、軟件輔助手動(dòng)映射選項

5、各種數據保存和導出選項

 

2020SR非接觸式單點(diǎn)薄層電阻測試儀的數據表

測量技術(shù)

非接觸式渦流傳感器

基質(zhì)

箔、玻璃、晶片等。

基底面積

8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面開(kāi)口)

最大值樣品厚度/傳感器間隙

3 / 5 / 10 / 25毫米(由最厚的樣品確定)

金屬薄膜(如銅)的厚度測量范圍

2納米–2毫米(根據薄層電阻)

設備尺寸(寬高比)

11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米

重量

10公斤

更多可用功能

薄層電阻測量/金屬厚度監控器


VLSR

LSR

MSR

HSR

VHSR


6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy

Range [Ohm/sq]

0.0001 – 0.1

0.1 – 10

0.1 – 100

10 – 2000

1,000 – 200,000

Accuracy / Bias

± 1%

± 1 – 3%

± 3 – 5%

Repeatability (2σ)

< 0.3%

< 0.5%

< 0.3%


VLSR - 極低薄層電阻 , LSR - 低薄層電阻 , MSR - 中等薄層電阻 , HSR - 高薄層電阻 , VHSR - 非常高薄層電阻


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